On the role of metastables in capacitively coupled oxygen discharges
Gudmundsson, J T; Lieberman, M A
- 期刊名称Plasma Sources Science and Technology
- 作者Gudmundsson, J T; Lieberman, M A
- 卷第24卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0963-0252
- 电子ISSN1361-6595
- 文件大小1025.53KB
- 发表时间2015-06-01
- DOI10.1088/0963-0252/24/3/035016