Effect of Stators Geometry on the Resonance Sensitivity of Capacitive MEMS
Frangi, ; Laghi, G.; Minotti, P.; Langfelder, G.
- 期刊名称Procedia Engineering
- 作者Frangi, ; Laghi, G.; Minotti, P.; Langfelder, G.
- 卷第120卷
- 印刷ISSN1877-7058
- 文件大小1559.62KB
- 发表时间2015
- DOI10.1016/j.proeng.2015.08.619
- 页码294-297