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Effect of Stators Geometry on the Resonance Sensitivity of Capacitive MEMS

Effect of Stators Geometry on the Resonance Sensitivity of Capacitive MEMS

Frangi, ; Laghi, G.; Minotti, P.; Langfelder, G.
  • 期刊名称Procedia Engineering
  • 作者Frangi, ; Laghi, G.; Minotti, P.; Langfelder, G.
  • 卷第120卷
  • 印刷ISSN1877-7058
  • 文件大小1559.62KB
  • 发表时间2015
  • DOI10.1016/j.proeng.2015.08.619
  • 页码294-297
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