Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system

Aleksandrov, A. F.; Petrov, A. K.; Vavilin, K. V.; Kralkina, E. A.; Neklyudova, P. A.; Nikonov, A. M.; Pavlov, V. B.; Ayrapetov, A. A.; Odinokov, V. V.; Sologub, V. A.; Pavlov, G. Ya.

期刊名称Plasma Physics Reports
作者Aleksandrov, A. F.; Petrov, A. K.; Vavilin, K. V.; Kralkina, E. A.; Neklyudova, P. A.; Nikonov, A. M.; Pavlov, V. B.; Ayrapetov, A. A.; Odinokov, V. V.; Sologub, V. A.; Pavlov, G. Ya.
卷第42卷
期第3期
印刷ISSN1063-780X
电子ISSN1562-6938
文件大小339.87KB
发表时间2016-3
DOI10.1134/S1063780X16030016
页码290-292

发现好书期刊，享受阅读乐趣

Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system