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Rapid fabrication of a silicon modification layer on silicon carbide substrate

Rapid fabrication of a silicon modification layer on silicon carbide substrate

Bai, Yang; Li, Longxiang; Xue, Donglin; Zhang, Xuejun

期刊名称Applied Optics
作者Bai, Yang; Li, Longxiang; Xue, Donglin; Zhang, Xuejun
卷第55卷
期第22期
印刷ISSN0003-6935
电子ISSN1539-4522
文件大小1431.63KB
发表时间2016-08-01
DOI10.1364/ao.55.005814

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