THE 24th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
- 期刊名称IEEE Transactions on Electron Devices
- 卷第65卷
- 期第6期
- 印刷ISSN0018-9383
- 电子ISSN1557-9646
- 文件大小1835.09KB
- 发表时间2018-6
- DOI10.1109/TED.2018.2831159
- 页码2676-2676
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