Oxidation-induced stress in Si nanopillars

• 期刊名称Journal of Materials Science
• 作者Ye, Shujun; Yamabe, Kikuo; Endoh, Tetsuo
• 卷第54卷
• 期第16期
• 印刷ISSN0022-2461
• 电子ISSN1573-4803
• 文件大小2062.21KB
• 发表时间2019-8
• DOI10.1007/s10853-019-03670-x
• 页码11117-11126