Experimental determination of the electro-acoustic properties of thin film AlScN using surface acoustic wave resonators

• 期刊名称Journal of Applied Physics
• 作者Kurz, Nicolas; Ding, Anli; Urban, Daniel F.; Lu, Yuan; Kirste, Lutz; Feil, Niclas M.; Žukauskaitė, Agnė; Ambacher, Oliver
• 卷第126卷
• 期第7期
• 印刷ISSN0021-8979
• 电子ISSN1089-7550
• 文件大小1801.47KB
• 发表时间2019-08-21
• DOI10.1063/1.5094611