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Doping ferroelectric hafnium oxide by in-situ precursor mixing

Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte; Wiatr, Maciej; Kolodinski, Sabine; Weinreich, Wenke

期刊名称ACS Applied Electronic Materials
作者Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte; Wiatr, Maciej; Kolodinski, Sabine; Weinreich, Wenke
印刷ISSN2637-6113
电子ISSN2637-6113
文件大小737.72KB
发表时间2019-11-12
DOI10.1021/acsaelm.9b00591