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High temperature metallisation for GaAs device processing

D. V. Morgan; H. Thomas; W. T. Anderson; P. Thompson; A. Christou; D. J. Diskett

作者D. V. Morgan; H. Thomas; W. T. Anderson; P. Thompson; A. Christou; D. J. Diskett
卷第110卷
期第2期
印刷ISSN1862-6319
文件大小332.59KB
发表时间1988
DOI10.1002/pssa.2211100226
页码531-536