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Rapid thermal oxidation of thin nitride dielectrics deposited on rapid thermal nitrided polycrystalline silicon

Rapid thermal oxidation of thin nitride dielectrics deposited on rapid thermal nitrided polycrystalline silicon

Itoh, S.; Lo, G. Q.; Kwong, D. L.; Mathews, V. K.; Fazan, P. C.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Itoh, S.; Lo, G. Q.; Kwong, D. L.; Mathews, V. K.; Fazan, P. C.
卷第61卷
期第11期
印刷ISSN0003-6951
文件大小528.87KB
发表时间1992
DOI10.1063/1.107576

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