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Selective growth of SiGe nanostructures by low pressure VPE

Selective growth of SiGe nanostructures by low pressure VPE

G. Schmidt; W. Langheinrich; K. Heime

作者G. Schmidt; W. Langheinrich; K. Heime
卷第37卷
印刷ISSN0038-1101
文件大小577.26KB
发表时间1994
DOI10.1016/0038-1101(94)90253-4
页码587-589

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