Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition of 3C-SiC
Russell, Michael W.; Freitas, Jaime A.; Berry, Alan D.; Butler, James E.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Russell, Michael W.; Freitas, Jaime A.; Berry, Alan D.; Butler, James E.
- 卷第410卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小1258.39KB
- 发表时间1995-1
- DOI10.1557/proc-410-351