New development strategies for high aspect ratio microstructures

• 作者J. Zanghellini; S. Achenbach; A. El-Kholi; J. Mohr; F. J. Pantenburg
• 卷第4卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0946-7076
• 电子ISSN1432-1858
• 文件大小160.07KB
• 发表时间1998-02
• DOI10.1007/s005420050104
• 页码94-97