Electrical characterization of shallow cobalt-silicided junctions
E. Simoen; A. Poyai; C. Claeys; N. Lukyanchikova; M. Petrichuk; N. Garbar; A. Czerwinski; J. Katcki; J. Ratajczak; E. Gaubas
- 作者E. Simoen; A. Poyai; C. Claeys; N. Lukyanchikova; M. Petrichuk; N. Garbar; A. Czerwinski; J. Katcki; J. Ratajczak; E. Gaubas
- 卷第12卷
- 印刷ISSN0957-4522
- 电子ISSN1573-482X
- 文件大小305.68KB
- 发表时间2001-06
- DOI10.1023/a:1011268400088
- 页码207-210