Piezoelectric and electrical properties of PZT-PSN thin film ceramics for MEMS applications
- 作者Seong Kon Kim; Cheol-Su Kim; Kyung Wha Lee; Sang Yeol Lee
- 卷第5卷
- 印刷ISSN1369-8001
- 文件大小290.64KB
- 发表时间2002
- DOI10.1016/s1369-8001(02)00091-4
- 页码115-121
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