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Thin films of GeC deposited using a unique hollow cathode sputtering technique

J.S. Schrader; J.L. Huguenin-Love; R.J. Soukup; N.J. Ianno; C.L. Exstrom; S.A. Darveau; R.N. Udey; V.L. Dalal

作者J.S. Schrader; J.L. Huguenin-Love; R.J. Soukup; N.J. Ianno; C.L. Exstrom; S.A. Darveau; R.N. Udey; V.L. Dalal
卷第90卷
期第15期
印刷ISSN0927-0248
文件大小248.78KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.solmat.2006.03.007
页码2338-2345