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Requirements of PECVD SiNx:H layers for bulk passivation of mc-Si

Requirements of PECVD SiNx:H layers for bulk passivation of mc-Si

H.F.W. Dekkers; S. De Wolf; G. Agostinelli; F. Duerinckx; G. Beaucarne

作者H.F.W. Dekkers; S. De Wolf; G. Agostinelli; F. Duerinckx; G. Beaucarne
卷第90卷
印刷ISSN0927-0248
文件大小123.51KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.solmat.2006.06.024
页码3244-3250

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