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Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions

Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions

E. Kondoh; K. Nagano; C. Yamamoto; J. Yamanaka

作者E. Kondoh; K. Nagano; C. Yamamoto; J. Yamanaka
卷第86卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小616.61KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.mee.2009.01.084
页码902-905

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