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Study on the Machining Parameters in Polishing Single-Crystal SiC Wafers with SG Films

Study on the Machining Parameters in Polishing Single-Crystal SiC Wafers with SG Films

Du, Zhi; Lu, Jing; Fang, Cong Fu; Huang, Hui; Xu, Xi Peng

期刊名称Key Engineering Materials
作者Du, Zhi; Lu, Jing; Fang, Cong Fu; Huang, Hui; Xu, Xi Peng
电子ISSN1662-9795
文件大小7975.32KB
发表时间2013-10
DOI10.4028/www.scientific.net/KEM.589-590.457
页码457-463

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